更新時間(jian):2023-11-12
我研究室生產的KW型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。 產品主要特點 1、開關電流調速,穩定性能更好,轉速調節以數字顯示為準。 2、轉(zhuan)速在(zai)500~8000轉(zhuan)/分范圍內非常穩定。
品牌 | 其他品牌 | 產地類別 | 國產 |
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應用領域 | 電子 |
中國(guo)科學(xue)院微電子研究所(suo) KW-4A型(xing)臺式勻膠機/旋涂(tu)儀/涂(tu)膠機
產品簡介
我研究室生產的KW-4A型勻膠機適應于半導體硅片,載玻片,晶片,基片,ITO導電玻璃等工藝,制版的表面涂覆。該產品具有轉速穩定和啟動迅速等優點,并能保證半導體材料中涂膠厚度的一致性和均勻性。通常配真空泵一起使用。目前的型號有KW-4A型和KW-5型。
產品主要(yao)特點
1、開關電(dian)流調速,穩定(ding)性能更(geng)好,轉速調節以(yi)數(shu)字顯示為(wei)準。
2、轉(zhuan)速(su)在500~8000轉(zhuan)/分范圍內非常穩定(ding)。
3、采用雙轉(zhuan)速(su)。在啟動(dong)之后,先以低(di)速(su)運(yun)(yun)轉(zhuan),使膠攤開,然(ran)后自動(dong)轉(zhuan)換到高(gao)速(su)運(yun)(yun)轉(zhuan)。兩種轉(zhuan)速(su)及相(xiang)應的時間分(fen)別(bie)可(ke)調,時間分(fen)別(bie)控制在1~18秒和3秒~1分(fen)鐘。
4、具有(you)定(ding)時功能(neng)。
5、測速采(cai)用光(guang)電的辦法,產生光(guang)電脈(mo)沖(chong),由(you)晶體分(fen)頻測速準(zhun)確性(xing)高。
6、"吸(xi)片"采(cai)用電磁(ci)閥控制(zhi)氣(qi)(qi)路,一個氣(qi)(qi)泵可同時帶幾(ji)臺勻膠機工(gong)作,適合流水線的工(gong)藝(yi),提高了效率。
7、在(zai)安(an)裝結構上,采取了減(jian)振措(cuo)施,保證了在(zai)運轉時噪音低。
性能指標:
參數 | 指標 |
調速范圍和勻膠時間 | Ⅰ檔(dang)調速范圍:500-2000轉/分Ⅰ檔(dang)勻膠(jiao)時(shi)間:2-18秒 Ⅱ檔調速(su)范圍:1300-8000轉(zhuan)/分Ⅱ檔勻膠(jiao)時(shi)間:3-60秒 |
適用 | Φ5-Φ100mm硅片及其它(ta)材料等勻膠 |
電機功率 | 40W |
LED數字顯示 | 轉速(su)穩(wen)定度:±1%,膠的均勻(yun)性:±3% |
真空泵抽氣速率 | ≥60升/分 |
儀器尺寸 | 210×220×160mm |